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鍵合加熱盤

簡要描述:文天精策的Die-to-wafer(芯片對晶圓)鍵合加熱系統,是針對芯片與晶圓連接工藝打造的專用溫控設備,由加熱盤與鍵合頭組成,主打高精度溫控、快速升降溫與高適配性,適配中低溫鍵合場景,廣泛應用于半導體優良封裝、芯片異構集成等領域,可實現芯片與晶圓的精準、高效鍵合,兼顧鍵合質量與生產效率。

  • 產品型號:
  • 更新時間:2026-05-19
  • 訪問次數:178
  • 產品地址:蘇州市吳江區江陵街道云創路233號

詳細介紹

產品簡介:

文天精策的Die-to-wafer(芯片對晶圓)鍵合加熱系統,是針對芯片與晶圓連接工藝打造的專用溫控設備,由加熱盤與鍵合頭組成,主打高精度溫控、快速升降溫與高適配性,適配中低溫鍵合場景,廣泛應用于半導體優良封裝、芯片異構集成等領域,可實現芯片與晶圓的精準、高效鍵合,兼顧鍵合質量與生產效率。

產品參數:



                                   鍵合加熱系統

加熱盤參數

材質

鋁合金

工作溫度

RT~200℃

溫度穩定性

±0.5℃

系統控溫精度

0.5℃

加熱盤平面度

≤10um,確保溫度傳導均勻

鍵合頭參數

材質

陶瓷

加熱速度

50~460℃,僅需3~4s

降溫速度

460~100℃,僅需4~5s



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